PICO系列 等離子清洗機
Pico 等離子設備能夠以不同的形式進行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與 Pico 等離子系統一同使用的常見的選裝件。
Pico 等離子系統主要應用于以下領域：
小批量生產
分析 (REM, TEM)
醫療技術
滅菌
研究和開發部門
考古
紡織技術
塑料技術
PICO系列 等離子清洗機規格參數：
系列 | Pico系列 |
控制系統 | 半自動型 PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE) PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 4~15L |
真空腔室 | 圓形不銹鋼件，配有蓋子 矩形不銹鋼件，配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門 |
電極 | 單層或多層 RIE |
樣品支架 | （選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani Baratron（適用于腐蝕性氣體版本） |
計時器 | 數字型 |
高頻電流發生器 | 40 kHz: 功率 0 - 200 W；0 -1000 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W；0 - 100 W；0 - 300 W 2.45 GHz: 功率 0 - 300 W 所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型 |
真空泵 | KASHIYAMA |
電源 | 臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位 |
